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DNP在用于尖端半导体的纳米压印模板上实现了10纳米线图案分辨率

时间:2025-12-11 16:03:00  来源:文传商讯  作者:
 
- 助力1.4纳米制程半导体生产,降低制造成本与能耗 -

东京--(美国商业资讯)-- Dai Nippon Printing Co., Ltd. (DNP, TOKYO:7912)今日宣布,已成功研发出电路线宽为10纳米(nm,10-9米)的纳米压印光刻(NIL)模板。这款新型模板可实现性能对标1.4纳米制程的逻辑半导体的图案化,满足了尖端逻辑半导体的微型化需求。

本新闻稿包含多媒体。此处查看新闻稿全文: https://www.businesswire.com/news/home/20251208068616/zh-CN/

研发背景与目标

近年来,随着器件精密度的提升,市场对尖端半导体微型化的需求日益增长,这也推动了基于极紫外(EUV)光刻技术的生产进步。然而,EUV光刻技术在生产线建设和曝光工艺方面需要大量的资本投入,且能耗与运行成本居高不下。

DNP自2003年起便致力于NIL模板的研发工作,在高精度图案化领域成功积累了丰富的技术经验。

在此项最新进展中,DNP研发了一种具有10纳米线图案的NIL模板。它可以替代部分EUV光刻工艺,从而帮助那些不具备EUV光刻生产工艺的客户生产尖端逻辑半导体。

主要特性

未来规划

我们已启动对NIL模板的评估工作,计划于2027年实现量产。DNP将推进NIL模板的进一步开发,并提高产能以满足不断增长的需求,目标是到2030财年使NIL销售额增加到40亿日元。

更多详情

关于DNP

DNP创立于1876年,现已成为全球领军企业,以印刷技术为根基开拓创新商业机遇,兼顾环境保护,致力构建更具活力的世界。公司依托微细加工与精密涂布核心技术,为显示设备、电子器件及光学薄膜市场提供产品。

免责声明:本公告之原文版本乃官方授权版本。译文仅供方便了解之用,烦请参照原文,原文版本乃唯一具法律效力之版本。

在 businesswire.com 上查看源版本新闻稿: https://www.businesswire.com/news/home/20251208068616/zh-CN/

CONTACT:

媒体联系人
DNP: Yusuke Kitagawa, +81-3-6735-0101
kitagawa-y3@mail.dnp.co.jp

纳米压印模板

 
 
 
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